真空热处理炉是一种环保，机电一体化，能耗低，效率高的真空系统设备，在平时的使用中，我们要注意规范操作，否则可能会使设备出现故障，下面我们一起看一下此设备常见的故障以及解决方法：

　　一、真空室压力恶化

　　1、真空排气时间比通常长时，应把设备停下来进行检查，根据真空室内构造物不同状态下放气的影响，也有导致压力升高的情况。

　　2、通过压力上升测试或者用氦气检漏来确认是漏气还有放气的影响。

　　二、停电

　　1、真空炉停电时，如果断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。

　　2、如果在非升温、加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，继续运转如需要较长时间，则将设备保持原状。

　　3、如果正在加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，如果需要较长时间时，则保持原状，让设备自然冷却下来。

　　三、真空炉冷却水异常

　　1、确认加热电源已停止。

　　2、炉外发生漏水，冷却水量异常时，应尽快采取应急措施，如能保证水量，请继续保持真空，如不能采取应急措施，保持原状，确认设备冷却下来。

　　3、冷却水发生异常时，设备处于停止状态，马上接通紧急用冷却水。

　　4、在高温（超过200℃即视为高温）时，如果冷却水停止了，如果不能紧急送水，水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。

　　四、充气气体（氩气或氮气）停止

　　1、抽真空开始前，气体充入时间长或者无法充入时，请确认气体管路是否被堵塞。

　　2、如气体管路没问题，检查电磁阀及气体充气阀的动作，为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。

　　3、向真空室内充气不能停止的情况下，泄压阀动作如泄压阀动作时，要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。

　　4、确认气体充气配管是否有漏气的地方，如有会影响真空炉质量。

　　五、加热电源掉电

　　1、水压低，当水压低于0.15MPa，压力表报警。

　　2、接地故障。

　　3、真空放电，水冷电极接头与加热器连接处须连接牢固，与反射屏绝缘要好。

　　4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时（此真空度容易发生放电）。电源出现故障，掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。

　　了解了真空炉常见的一些设备故障以后，在以后的使用中，如果遇到以上几种情况，就能够更准确地找出设备出现故障的原因，得以解决，希望以上内容能对大家有一定的帮助。

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